Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения: разработка, изготовление (оборудование для процессов фотолитографии, плазмохимической и химической обработок поверхности, оборудование и комплексы для получения особо чистой воды, контрольно-измерительное и испытательное оборудование и комплексы для контроля параметров полупроводниковых приборов и ИС).
